1、8/12兼容

兼容8inch、12inch基板，可便捷更換。

2、模塊化設(shè)計

1.整機(jī)采用模塊化設(shè)計，集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模塊。

2.可根據(jù)對量產(chǎn)能力的需求，增加子模塊，具有良好的拓展性。

3、高精度

1.壓印最小線寬30nm

2.深寬比達(dá)10：1

3.與母版尺寸偏差＜3%

4.對位精度±2um

4、高量產(chǎn)能力

1.UPH 30

2.具備優(yōu)良的穩(wěn)定性

5、全自動

1.配合光舵自研的智能操控軟件，所有動作均可全自動完成。

2.并提供實(shí)時監(jiān)控畫面，對重點(diǎn)過程做監(jiān)控。

6、高潔凈等級

1.設(shè)備腔內(nèi)環(huán)境可達(dá)到class 1

2.與母版的數(shù)據(jù)偏差＜3%

3.片間尺寸偏差＜3%

設(shè)備對位壓印能力：≤2um

配合高精度平臺，設(shè)備可提供穩(wěn)定的對位能力，并完成偏心補(bǔ)償